汽化雙氧水滅菌法/汽化雙氧水/又稱汽化過氧化氫，即Vaporized Hydrogen Peroxide，簡稱VHP。是利用過氧化氫在常溫下氣體狀態比液體狀態更具殺滅細菌芽孢能力的優點，達到完全滅菌的要求的一種技術。常用于隔離室、隔離器等密閉空間的滅菌。 
100多年以前，人們就已經發現過氧化氫有殺菌作用，后來人們將3%的過氧化氫溶液用于非深入性創口的清潔消毒、皮膚消毒，也可以用作物表消毒，6%的過氧化氫溶液可以用作高水平消毒劑。20世紀80年代末，美國的一家公司叫思泰瑞，發現了這樣一個現象，就是過氧化氫在氣態下的殺菌能力是液態的200倍以上，也就是說氣態過氧化氫在很低的濃度下也能達到滅菌效果。后來的很多實驗也驗證了這一理論的正確。1990年氣化過氧化氫正式通過了美國EPA（美國環保署）的核準，并且作為滅菌劑，并很快在各個領域運用。氣化過氧化氫滅菌系統在國外已經有了20多年的使用歷史，1991年歐美國家開始使用氣化過氧化氫滅菌器，2000年以后，制藥行業也開始使用氣化過氧化氫滅菌器。從國外這么多年的使用來看，氣化過氧化氫滅菌器是十分成熟的工藝。
1.過氧化氫因具有氧化還原作用而具有殺菌效果,特別對厭氧芽孢桿菌殺滅效果好。
2.過氧化氫的作用原理是通過復雜的化學反應解離具有高活性的羥基，破壞細胞膜。
 過氧化氫因具有氧化還原作用而具有殺菌效果，特別對厭氧芽孢桿菌殺滅效果好。過氧化氫的作用原理是通過復雜的化學反應解離具有高活性的羥基，用于攻擊細胞的成分，包括破壞細胞膜、脂類、蛋白質和DNA。
3.通過“閃蒸”將液態H2O2 轉化為VHP，此過程可在常溫常濕的環境下有效進行，所以不需要進行除濕等特別的預處理。VHP 被均勻的引入密閉空間，其內表面完全暴露于VHP 中，形成約1μm 的過氧化氫膜，附著在可能寄居微生物的表面，微生物自身會作為核心被形成的微冷凝所包裹，并迅速被此過程殺滅。
滅菌的目標定為生物指示劑BIs 達到6-log 的殺滅率，通常使用的BI 為嗜熱脂肪芽孢桿菌。完成消毒后的VHP 被催化分解為水蒸氣和氧氣，也可以使用強力通風裝置對其完全分解，或者使用建筑空調通風系統，對凍干機來說可以借用其抽真空系統迅速去除殘留的VHP。
1.主要特點是干燥、作用快速、無毒無殘留等優越
2.VHP有較好的物質相容性包括很多金屬和塑料,適用于房間、生物安全柜、傳遞窗、動物籠交換站、隔離器和醫療器械等表面的滅菌消毒。
3.消毒滅菌可以在室溫條件下進行。
4.消毒周期短，汽化雙氧水的消毒周期只需5—7h，而蒸汽消毒周期為0.1—0.5h，環氧乙烷(EO)氣體消毒滅菌周期為12—18h。
5.汽化雙氧水消毒滅菌對操作人員無危害，對環境無污染，其最終殘留物為水和氧氣。
6.蒸汽滅菌使腔室有很大的壓差變化，長期反復受壓、抽真空，縮短了設備壽命；采用汽化雙氧水滅菌，因為壓力、溫度條件的改善，使設備的運行壽命和維修周期延長。
7.長期使用蒸汽滅菌，濕熱氣體易破壞腔體內表面的不銹鋼鈍化膜，而汽化雙氧水滅菌則很少損害。
8.采用移動式(帶腳輪)的汽化雙氧水發生器，能對多臺設備配套滅菌，減少設備的初投資。
9.汽化雙氧水滅菌，工藝重復性好，較易通過驗證測試。
優點：低溫、快捷，實用于不耐高溫、濕熱的器械，滅菌材料和物品的范圍廣，對器械損耗少，有包裝可保存，有完善的監測系統。
10.VHP（干法工藝）通過歐美三十多年的實際應用，被全球客戶公認為到目前為止安全、高效、環保的替代甲醛、臭氧的空間滅菌方法。氣化過氧化氫滅菌工藝已經非常成熟，重復性好，有專門的化學指示劑和生物指示劑驗證過氧化氫氣體分布均勻情況和無菌保證水平。